Semicera-sëNënshtresa alumini jopolare M-plane 10x10mmështë projektuar me përpikëri për të përmbushur kërkesat kërkuese të aplikacioneve të avancuara optoelektronike. Ky substrat përmban një orientim jopolar të planit M, i cili është kritik për reduktimin e efekteve të polarizimit në pajisje të tilla si LED dhe dioda lazer, duke çuar në performancë dhe efikasitet të përmirësuar.
TëNënshtresa alumini jopolare M-plane 10x10mmështë krijuar me cilësi të jashtëzakonshme kristalore, duke siguruar dendësi minimale të defektit dhe integritet strukturor superior. Kjo e bën atë një zgjedhje ideale për rritjen epitaksiale të filmave me nitride III me cilësi të lartë, të cilat janë thelbësore për zhvillimin e pajisjeve optoelektronike të gjeneratës së ardhshme.
Inxhinieria precize e Semicera siguron që seciliNënshtresa alumini jopolare M-plane 10x10mmofron trashësi të qëndrueshme dhe rrafshësi të sipërfaqes, të cilat janë thelbësore për depozitimin uniform të filmit dhe prodhimin e pajisjes. Për më tepër, madhësia kompakte e nënshtresës e bën atë të përshtatshëm si për mjedise kërkimore ashtu edhe për prodhim, duke lejuar përdorim fleksibël në një sërë aplikacionesh. Me qëndrueshmërinë e tij të shkëlqyer termike dhe kimike, kjo substrat ofron një bazë të besueshme për zhvillimin e teknologjive optoelektronike më të fundit.
| Artikuj | Prodhimi | Hulumtimi | Bedel |
| Parametrat e Kristalit | |||
| Politip | 4H | ||
| Gabim në orientimin e sipërfaqes | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametrat Elektrikë | |||
| Dopant | Azoti i tipit n | ||
| Rezistenca | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Parametrat mekanike | |||
| Diametri | 150,0±0,2 mm | ||
| Trashësia | 350±25 μm | ||
| Orientimi primar i sheshtë | [1-100]±5° | ||
| Gjatësia primare e sheshtë | 47,5±1,5 mm | ||
| Banesa dytësore | Asnjë | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Përkuluni | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Deformoj | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Vrazhdësia e përparme (Fytyra Si) (AFM) | Ra≤0,2 nm (5μm*5μm) | ||
| Struktura | |||
| Dendësia e mikrotubit | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Papastërtitë metalike | ≤5E10 atome/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Cilësia e përparme | |||
| Përpara | Si | ||
| Përfundimi i sipërfaqes | CMP si-fytyre | ||
| Grimcat | ≤60ea/vafer (madhësia≥0,3μm) | NA | |
| Gërvishtjet | ≤5ea/mm. Gjatësia kumulative ≤Diametri | Gjatësia kumulative≤2*Diametri | NA |
| Lëkurë portokalli/gropa/njolla/striacione/ çarje/ndotje | Asnjë | NA | |
| Çipat e skajit / vrima / thyerje / pllaka gjashtëkëndore | Asnjë | ||
| Zonat politip | Asnjë | Zona kumulative≤20% | Zona kumulative≤30% |
| Shënimi i përparmë me lazer | Asnjë | ||
| Cilësia e pasme | |||
| Përfundimi i pasmë | CMP me fytyrë C | ||
| Gërvishtjet | ≤5ea/mm,Gjatësia kumulative≤2*Diametri | NA | |
| Defekte të pasme (patate të skuqura / dhëmbëzimet e skajeve) | Asnjë | ||
| Vrazhdësia e shpinës | Ra≤0,2 nm (5μm*5μm) | ||
| Shënimi me lazer prapa | 1 mm (nga buza e sipërme) | ||
| Buzë | |||
| Buzë | Chamfer | ||
| Paketimi | |||
| Paketimi | Epi-gati me paketim vakum Paketim kasetë me shumë vafera | ||
| *Shënime: "NA" do të thotë asnjë kërkesë Artikujt që nuk përmenden mund t'i referohen SEMI-STD. | |||
