Pjesët e procesit të gravurës

Transportues përpunimi PSS për transmetimin e vaferës gjysmëpërçuese
Tabaka ICP gjysmëpërçuese e personalizuar (gërvishtje)
Etch LED Tabaka mbajtëse e karbitit të silikonit, Tabaka ICP (Etch)
Tabaka për gravurë me karabit silikoni LED rezistente ndaj temperaturës së lartë dhe korrozionit (tabak për gravimin ICP)
Bartës SiC për trajtimin e nxehtësisë me ngrohje të shpejtë RTP/RTA
Tabaka pine SiC për proceset e gravimit të ICP në industrinë LED
Pllakë mbajtëse e karbitit të silikonit RTA për gjysmëpërçues
Mbajtëse veshjeje SiC për gravurë gjysmëpërçuese