Epitaksi LED blu/jeshile nga semicera ofron zgjidhje më të fundit për prodhim LED me performancë të lartë. E krijuar për të mbështetur proceset e avancuara të rritjes epitaksiale, teknologjia e epitaksisë LED blu/jeshile e gjysmëcerës rrit efikasitetin dhe saktësinë në prodhimin e LED-ve blu dhe jeshile, kritike për aplikime të ndryshme optoelektronike. Duke përdorur Si Epitaxy dhe SiC Epitaxy moderne, kjo zgjidhje siguron cilësi dhe qëndrueshmëri të shkëlqyer.
Në procesin e prodhimit, MOCVD Susceptor luan një rol vendimtar, së bashku me komponentë si PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier dhe RTP Carrier, të cilët optimizojnë mjedisin e rritjes epitaksiale. Epitaksi LED blu/jeshile e Semicera është projektuar për të ofruar mbështetje të qëndrueshme për susceptorin epitaksial LED, susceptorin e fuçisë dhe silikonin monokristalor, duke siguruar prodhimin e rezultateve të qëndrueshme dhe me cilësi të lartë.
Ky proces i epitaksisë është jetik për krijimin e Pjesëve Fotovoltaike dhe mbështet aplikacione të tilla si GaN në SiC Epitaxy, duke përmirësuar efikasitetin e përgjithshëm të gjysmëpërçuesve. Qoftë në një konfigurim Pancake Susceptor ose përdoret në konfigurime të tjera të avancuara, zgjidhjet e epitaksisë LED blu/jeshile të gjysmëcerës ofrojnë performancë të besueshme, duke ndihmuar prodhuesit të përmbushin kërkesën në rritje për komponentë LED me cilësi të lartë.
Karakteristikat kryesore:
1. Rezistenca ndaj oksidimit në temperaturë të lartë:
rezistenca ndaj oksidimit është ende shumë e mirë kur temperatura është deri në 1600 C.
2. Pastërti e lartë: e bërë nga depozitimi kimik i avullit në kushte të klorimit me temperaturë të lartë.
3. Rezistenca ndaj erozionit: fortësi e lartë, sipërfaqe kompakte, grimca të imta.
4. Rezistenca ndaj korrozionit: acid, alkali, kripë dhe reagentë organikë.
Specifikimet kryesore tëVeshje CVD-SIC
| Vetitë SiC-CVD | ||
| Struktura Kristale | Faza β FCC | |
| Dendësia | g/cm³ | 3.21 |
| Fortësia | Fortësia e Vickers | 2500 |
| Madhësia e grurit | μm | 2 ~ 10 |
| Pastërtia Kimike | % | 99,99995 |
| Kapaciteti i nxehtësisë | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Temperatura e sublimimit | ℃ | 2700 |
| Forca Feleksural | MPa (RT 4 pikë) | 415 |
| Moduli i Young | Gpa (përkulje 4 pikë, 1300 ℃) | 430 |
| Zgjerimi termik (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Përçueshmëri termike | (W/mK) | 300 |
