Semicera Pastërti e LartëVozis me karabit silikoniështë projektuar me përpikëri për të përmbushur kërkesat e rrepta të proceseve moderne të prodhimit të gjysmëpërçuesve. KjoSiC Cantilever Paddleshkëlqen në mjedise me temperaturë të lartë, duke ofruar stabilitet të pashembullt termik dhe qëndrueshmëri mekanike. Struktura SiC Cantilever është ndërtuar për t'i bërë ballë kushteve ekstreme, duke siguruar trajtim të besueshëm të waferit gjatë proceseve të ndryshme.
Një nga risitë kryesore tëSiC Paddleështë dizajni i tij i lehtë por i fuqishëm, i cili lejon integrimin e lehtë në sistemet ekzistuese. Përçueshmëria e tij e lartë termike ndihmon në ruajtjen e qëndrueshmërisë së vaferës gjatë fazave kritike të tilla si gravimi dhe depozitimi, duke minimizuar rrezikun e dëmtimit të vaferës dhe duke siguruar rendimente më të larta të prodhimit. Përdorimi i karabit të silikonit me densitet të lartë në konstruksionin e lopatës rrit rezistencën e tij ndaj konsumit, duke siguruar jetëgjatësi të zgjatur funksionale dhe duke reduktuar nevojën për zëvendësime të shpeshta.
Semicera i kushton një theks të fortë inovacionit, duke dhënë njëSiC Cantilever Paddleqë jo vetëm plotëson, por tejkalon standardet e industrisë. Ky vozis është i optimizuar për përdorim në aplikime të ndryshme gjysmëpërçuese, nga depozitimi deri te gravimi, ku saktësia dhe besueshmëria janë thelbësore. Duke integruar këtë teknologji të fundit, prodhuesit mund të presin efikasitet të përmirësuar, kosto të reduktuara të mirëmbajtjes dhe cilësi të qëndrueshme të produktit.
Vetitë fizike të karbitit të silikonit të rikristalizuar | |
Prona | Vlera tipike |
Temperatura e punës (°C) | 1600°C (me oksigjen), 1700°C (mjedis reduktues) |
Përmbajtja e SiC | > 99.96% |
Përmbajtje falas Si | < 0,1% |
Dendësia e masës | 2,60-2,70 g/cm3 |
Poroziteti i dukshëm | < 16% |
Forca e shtypjes | > 600 MPa |
Forca e përkuljes së ftohtë | 80-90 MPa (20°C) |
Forca e përkuljes së nxehtë | 90-100 MPa (1400°C) |
Zgjerimi termik @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Përçueshmëri termike @1200°C | 23 W/m•K |
Moduli elastik | 240 GPa |
Rezistenca ndaj goditjes termike | Jashtëzakonisht i mirë |