Varkë grafiti izostatike PECVD

Imazhi i veçuar i varkës grafiti izostatik PECVD

Përshkrimi i shkurtër:

Varka e grafit izostatike PECVD përdoret gjerësisht në lidhje të ndryshme të prodhimit të gjysmëpërçuesve, të tilla si depozitimi i filmit polisilik, depozitimi i filmit oksid, depozitimi i filmit nitrid, etj. Performanca e tij e shkëlqyer e bën atë një bartës ideal vaferi në procesin PECVD.

Na dërgoni email

Detajet e produktit

Etiketat e produktit

Varkë me grafit izostatik PECVD SEMICERA është një produkt grafiti me pastërti të lartë dhe me densitet të lartë, i projektuar për mbështetjen e vaferit në procesin PECVD (depozitimi kimik i avullit të përmirësuar me plazmë). SEMICERA përdor teknologji të avancuar të presimit izostatik për të siguruar që anija me grafit të ketë rezistencë të shkëlqyer ndaj temperaturës së lartë, rezistencë ndaj korrozionit, stabilitet dimensionale dhe përçueshmëri të mirë termike, e cila është një material harxhues i domosdoshëm në procesin e prodhimit të gjysmëpërçuesve.

Varka me grafit izostatik PECVD SEMICERA ka përparësitë e mëposhtme:

▪ Pastërti e lartë: Materiali grafit është me pastërti të lartë dhe përmbajtje të ulët papastërtie për të shmangur ndotjen e sipërfaqes së vaferës.

▪ Dendësi e lartë: Dendësi e lartë, forcë e lartë mekanike, mund t'i rezistojë temperaturës së lartë dhe mjedisit me vakum të lartë.

▪ Qëndrueshmëri e mirë dimensionale: Ndryshim i vogël dimensional në temperaturë të lartë për të siguruar stabilitetin e procesit.

▪ Përçueshmëri e shkëlqyer termike: Transferoni në mënyrë efektive nxehtësinë për të parandaluar mbinxehjen e vaferës.

▪ Rezistencë e fortë ndaj korrozionit: Në gjendje t'i rezistojë erozionit nga gazra të ndryshëm gërryes dhe plazma.

Parametri i performancës	gjysmëcera	SGL R6510	Parametri i performancës
Dendësia e masës (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Forca në përkulje (MPa)	63	60	49
Rezistenca në shtypje (MPa)	135	130	103
Fortësia në breg (HS)	70	64	60
Koeficienti i zgjerimit termik (10-6/K)	85	105	130
Koeficienti i zgjerimit termik (10-6/K)	5.85	4.2	5.0
Rezistenca (μΩm)	11-13	13	10

Avantazhet e zgjedhjes ne:
▪ Përzgjedhja e materialit: Materialet e grafitit me pastërti të lartë përdoren për të siguruar cilësinë e produktit.
▪ Teknologjia e përpunimit: Presioni izostatik përdoret për të siguruar densitetin dhe uniformitetin e produktit.
▪ Përshtatja e madhësisë: Varkat grafit të madhësive dhe formave të ndryshme mund të personalizohen sipas nevojave të klientit.
▪ Trajtimi sipërfaqësor: Ofrohen një sërë metodash të trajtimit sipërfaqësor, të tilla si veshje me karabit silikoni, nitrid bori, etj., për të përmbushur kërkesat e ndryshme të procesit.