Si të matni rezistencën e fletës së një filmi të hollë?

Filmat e hollë të përdorur në prodhimin e gjysmëpërçuesve kanë të gjithë rezistencë, dhe rezistenca e filmit ka një ndikim të drejtpërdrejtë në performancën e pajisjes. Zakonisht nuk matim rezistencën absolute të filmit, por përdorim rezistencën e fletës për ta karakterizuar atë.

Cilat janë rezistenca e fletës dhe rezistenca e vëllimit?

Rezistenca e vëllimit, e njohur gjithashtu si rezistenca e vëllimit, është një veti e natyrshme e një materiali që karakterizon se sa materiali pengon rrjedhën e rrymës elektrike. Simboli i përdorur zakonisht ρ përfaqëson, njësia është Ω.

Rezistenca e fletës, e njohur edhe si rezistenca e fletës, emri në anglisht është rezistencë e fletës, e cila i referohet vlerës së rezistencës së filmit për njësi sipërfaqe. Simbolet e përdorura zakonisht Rs ose ρs për të shprehur, njësia është Ω/sq ose Ω/□

Marrëdhënia midis të dyjave është: rezistenca e fletës = rezistenca e vëllimit / trashësia e filmit, domethënë Rs =ρ/t

Pse të matni rezistencën e fletës?

Matja e rezistencës absolute të një filmi kërkon njohuri të sakta të dimensioneve gjeometrike të filmit (gjatësia, gjerësia, trashësia), e cila ka shumë variabla dhe është shumë komplekse për filmat shumë të hollë ose me formë të çrregullt. Rezistenca e fletës lidhet vetëm me trashësinë e filmit dhe mund të testohet shpejt dhe drejtpërdrejt pa llogaritjet e komplikuara të madhësisë.

Cilat filma kanë nevojë për të matur rezistencën e fletës?

Në përgjithësi, filmat përçues dhe filmat gjysmëpërçues duhet të maten për rezistencën katrore, ndërsa filmat izolues nuk kanë nevojë të maten.
Në dopingun gjysmëpërçues, matet edhe rezistenca e fletës së silikonit.

Si të matni rezistencën katrore?

Metoda me katër sonda përdoret përgjithësisht në industri. Metoda me katër sonda mund të masë rezistencën katrore që varion nga 1E-3 në 1E+9Ω/sq. Metoda me katër sonda mund të shmangë gabimet e matjes për shkak të rezistencës së kontaktit midis sondës dhe kampionit.

Metodat e matjes:
1) Vendosni katër sonda të rregulluara në mënyrë lineare në sipërfaqen e kampionit.
2) Aplikoni një rrymë konstante midis dy sondave të jashtme.
3) Përcaktoni rezistencën duke matur diferencën e potencialit midis dy sondave të brendshme

RS: rezistenca e fletës
ΔV: Ndryshimi i tensionit të matur ndërmjet sondave të brendshme
I : Rryma e aplikuar ndërmjet sondave të jashtme