Në pajisjet e gravurës së plazmës, përbërësit qeramikë luajnë një rol vendimtar, duke përfshirëunazë fokusimi.Të unazë fokusimi, i vendosur rreth vaferës dhe në kontakt të drejtpërdrejtë me të, është thelbësor për fokusimin e plazmës në vafer duke aplikuar tension në unazë. Kjo rrit uniformitetin e procesit të gdhendjes.
Aplikimi i unazave të fokusimit të SiC në makinat e gravurës
Komponentët SiC CVDnë makinat e gravurës, si p.shunazat e fokusit, dush me gaz, pllakat dhe unazat e skajeve, janë të favorizuara për shkak të reaktivitetit të ulët të SiC me gazrat gravurë të bazuar në klor dhe fluor dhe përçueshmërinë e tij, duke e bërë atë një material ideal për pajisjet e gravimit të plazmës.
Përparësitë e SiC si një material i unazës përqendruese
Për shkak të ekspozimit të drejtpërdrejtë ndaj plazmës në dhomën e reaksionit të vakumit, unazat e fokusit duhet të bëhen nga materiale rezistente ndaj plazmës. Unazat tradicionale të fokusit, të bëra nga silikoni ose kuarci, vuajnë nga rezistenca e dobët e gravimit në plazmat me bazë fluori, duke çuar në korrozion të shpejtë dhe reduktim të efikasitetit.
Krahasimi midis unazave të fokusit Si dhe CVD SiC:
1. Dendësia më e lartë:Redukton volumin e gravurës.
2. Gap i gjerë: Ofron izolim të shkëlqyer.
3. Përçueshmëri e lartë termike dhe koeficient i ulët i zgjerimit: Rezistent ndaj goditjeve termike.
4. Elasticitet i lartë:Rezistencë e mirë ndaj ndikimeve mekanike.
5. Fortësi e lartë: Rezistent ndaj konsumit dhe korrozionit.
SiC ndan përçueshmërinë elektrike të silikonit ndërsa ofron rezistencë superiore ndaj gravimit jonik. Ndërsa përparon miniaturizimi i qarkut të integruar, rritet kërkesa për procese gravimi më efikase. Pajisjet e gravimit të plazmës, veçanërisht ato që përdorin plazmën e kombinuar kapacitiv (CCP), kërkojnë energji të lartë të plazmës, duke bërë qëUnazat e fokusit SiCgjithnjë e më popullore.
Parametrat e Unazës së Fokusit Si dhe CVD SiC:
| Parametri | Silic (Si) | Karbidi i silikonit CVD (SiC) |
| Dendësia (g/cm³) | 2.33 | 3.21 |
| Gap brezi (eV) | 1.12 | 2.3 |
| Përçueshmëria termike (W/cm°C) | 1.5 | 5 |
| Koeficienti i zgjerimit termik (x10⁻6/°C) | 2.6 | 4 |
| Moduli elastik (GPa) | 150 | 440 |
| Fortësia | Më e ulët | Më e lartë |
Procesi i prodhimit të unazave me fokus SiC
Në pajisjet gjysmëpërçuese, CVD (Depozitimi i avullit kimik) përdoret zakonisht për të prodhuar komponentë SiC. Unazat e fokusit prodhohen duke depozituar SiC në forma specifike përmes depozitimit të avullit, të ndjekur nga përpunimi mekanik për të formuar produktin përfundimtar. Raporti i materialit për depozitimin e avullit fiksohet pas eksperimenteve të gjera, duke i bërë parametrat si rezistenca të qëndrueshme. Megjithatë, pajisje të ndryshme gravurë mund të kërkojnë unaza fokusimi me rezistencë të ndryshme, duke bërë të nevojshme eksperimente të reja të raportit të materialit për çdo specifikim, gjë që kërkon kohë dhe e kushtueshme.
Duke zgjedhurUnazat e fokusit SiCngaGjysmëpërçues gjysmëpërçues, klientët mund të arrijnë përfitimet e cikleve më të gjata të zëvendësimit dhe performancës superiore pa një rritje të konsiderueshme të kostos.
Komponentët e përpunimit të shpejtë termik (RTP).
Karakteristikat e jashtëzakonshme termike të CVD SiC e bëjnë atë ideal për aplikimet RTP. Komponentët RTP, duke përfshirë unazat e skajit dhe pllakat, përfitojnë nga CVD SiC. Gjatë RTP, impulset intensive të nxehtësisë aplikohen në vaferë individuale për kohëzgjatje të shkurtra, të ndjekura nga ftohje e shpejtë. Unazat buzë CVD SiC, duke qenë të hollë dhe me masë termike të ulët, nuk mbajnë nxehtësi të konsiderueshme, duke i bërë ato të paprekura nga proceset e shpejta të ngrohjes dhe ftohjes.
Komponentët e gravurës së plazmës
Rezistenca e lartë kimike e CVD SiC e bën atë të përshtatshëm për aplikime gravurë. Shumë dhoma gërvishtëse përdorin pllaka shpërndarëse të gazit CVD SiC për të shpërndarë gazrat gravurë, që përmbajnë mijëra vrima të vogla për shpërndarjen e plazmës. Krahasuar me materialet alternative, CVD SiC ka një reaktivitet më të ulët me gazrat e klorit dhe fluorit. Në gdhendjen e thatë, zakonisht përdoren komponentë CVD SiC si unazat e fokusit, pllakat ICP, unazat kufitare dhe kokat e dushit.
Unazat e fokusit SiC, me tensionin e tyre të aplikuar për fokusimin plazmatik, duhet të kenë përçueshmëri të mjaftueshme. Në mënyrë tipike të bëra prej silikoni, unazat e fokusit ekspozohen ndaj gazeve reaktive që përmbajnë fluor dhe klor, duke çuar në korrozion të pashmangshëm. Unazat e fokusit SiC, me rezistencën e tyre superiore ndaj korrozionit, ofrojnë jetëgjatësi më të madhe në krahasim me unazat e silikonit.
Krahasimi i ciklit jetësor:
· Unazat e fokusit SiC:Zëvendësohet çdo 15 deri në 20 ditë.
· Unaza me fokus silikoni:Zëvendësohet çdo 10 deri në 12 ditë.
Pavarësisht se unazat SiC janë 2 deri në 3 herë më të shtrenjta se unazat e silikonit, cikli i zgjatur i zëvendësimit zvogëlon kostot e përgjithshme të zëvendësimit të komponentëve, pasi të gjitha pjesët e konsumimit në dhomë zëvendësohen njëkohësisht kur hapet dhoma për zëvendësimin e unazës së fokusit.
Unazat e përqendrimit të SiC të Semicera Semiconductor
Semicera Semiconductor ofron unaza me fokus SiC me çmime të përafërta me ato të unazave të silikonit, me kohëzgjatje prej afërsisht 30 ditësh. Me integrimin e unazave të fokusit SiC të Semicera në pajisjet e gravurës së plazmës, efikasiteti dhe jetëgjatësia përmirësohen ndjeshëm, duke reduktuar kostot e përgjithshme të mirëmbajtjes dhe duke rritur efikasitetin e prodhimit. Për më tepër, Semicera mund të personalizojë rezistencën e unazave të fokusit për të përmbushur kërkesat specifike të klientit.
Duke zgjedhur unazat e fokusit SiC nga Semicera Semiconductor, klientët mund të arrijnë përfitimet e cikleve më të gjata të zëvendësimit dhe performancës superiore pa një rritje të konsiderueshme të kostos.
Koha e postimit: Korrik-10-2024