TëMOCVDmetoda është një nga proceset më të qëndrueshme që përdoret aktualisht në industri për të rritur filma të hollë njëkristalorë me cilësi të lartë, të tilla si epila njëfazore InGaN, materiale III-N dhe filma gjysmëpërçues me struktura pusesh shumë kuantike, dhe ka një rëndësi të madhe në prodhimi i pajisjeve gjysmëpërçuese dhe optoelektronike.
TëMbështjellësi MOCVD me veshje SiCështë një mbajtëse e specializuar vaferi e veshur me karbit silikoni (SiC) përepitaksiale rritja në procesin e depozitimit të avullit kimik organik të metaleve (MOCVD).
Veshja SiC ka rezistencë të shkëlqyer kimike dhe stabilitet termik, duke e bërë atë një zgjedhje ideale për sensorët MOCVD të përdorura në proceset kërkuese të rritjes epitaksiale.
Një komponent kyç i procesit MOCVD është suceptori, i cili është një element kyç për të siguruar uniformitetin dhe cilësinë e filmave të hollë të prodhuar.
Çfarë është një susceptor? Ngjitësi është një komponent i specializuar që përdoret në procesin MOCVD për të mbështetur dhe ngrohur substratin mbi të cilin është depozituar filmi i hollë. Ka funksione të shumta, duke përfshirë thithjen e energjisë elektromagnetike, shndërrimin e saj në nxehtësi dhe shpërndarjen e barabartë të nxehtësisë në nënshtresë. Kjo ngrohje uniforme është thelbësore për rritjen e shtresave të holla uniforme me trashësi dhe përbërje të saktë.
Llojet e ndijuesve:
1. Ngjitësit e grafitit: Mbushësit e grafitit shpesh janë të veshura me një shtresë mbrojtëse si p.sh.karabit silikoni (SiC), i cili njihet për përçueshmërinë dhe qëndrueshmërinë e lartë termike. TëVeshje SiCsiguron një sipërfaqe të fortë, mbrojtëse që i reziston korrozionit dhe degradimit në temperatura të larta.
2. Ngjitësit e karbitit të silikonit (SiC): Këta suceptorë janë bërë tërësisht nga SiC dhe kanë qëndrueshmëri të shkëlqyer termike dhe rezistencë ndaj konsumit. Ndjekësit e SiC janë veçanërisht të përshtatshëm për procese me temperaturë të lartë dhe mjedise gërryese.
Si funksionojnë sensorët në MOCVD:
Në procesin MOCVD, prekursorët futen në dhomën e reaksionit ku ato dekompozohen dhe reagojnë për të formuar një shtresë të hollë në substrat. Ngjitësi luan një rol jetësor duke siguruar që nënshtresa të nxehet në mënyrë të barabartë, gjë që është kritike për arritjen e vetive të qëndrueshme të filmit në të gjithë sipërfaqen e nënshtresës. Materiali dhe dizajni i suceptorit janë zgjedhur me kujdes për të përmbushur kërkesat specifike të procesit të depozitimit, të tilla si diapazoni i temperaturës dhe përputhshmëria kimike.
Përfitimet e përdorimit të suceptorëve me cilësi të lartë:
• Cilësi e përmirësuar e filmit: Duke siguruar shpërndarje uniforme të nxehtësisë, suceptori ndihmon në arritjen e filmave me trashësi dhe përbërje të qëndrueshme, gjë që është kritike për performancën e pajisjeve gjysmëpërçuese.
• Përmirësimi i efikasitetit të procesit: Ngjitësit me cilësi të lartë rrisin efikasitetin e përgjithshëm të procesit MOCVD duke reduktuar gjasat e defekteve dhe duke rritur rendimentin e filmave të përdorshëm.
• Jetëgjatësia dhe besueshmëria: Mbajtësit e bërë nga materiale të qëndrueshme si SiC sigurojnë besueshmëri afatgjatë dhe reduktojnë kostot e mirëmbajtjes.
Suceptori është një komponent integral në procesin MOCVD dhe ndikon drejtpërdrejt në cilësinë dhe efikasitetin e depozitimit të filmit të hollë. Për më shumë informacion mbi madhësitë e disponueshme, sensorët MOCVD dhe çmimet, ju lutemi mos hezitoni të na kontaktoni. Inxhinierët tanë do të jenë të lumtur t'ju këshillojnë për materialet e përshtatshme dhe t'ju përgjigjen të gjitha pyetjeve tuaja.
Telefon: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Koha e postimit: Gusht-12-2024