Prezantimi i mbajtësit të meshës
KATAGORIA E PRODUKTIT
▶Sistem mbajtës vaferi për procesin PECVD & TALOX
• Varkë grafite PECVD dhe TALOX (M4~M12)
• Varkë SM vertikale (M4, M6)
• Pjesë grafite për implant dhe dush (M4~M6)
• Tabaka C/C & Veshje qeramike
• Metal RIE-Tabaka & Veshje Qeramike
• Mbyllja me vakum: O-Ring & SQ-Ring
▶Procesi i transferimit të teksturimit dhe gdhendjes së lagësht
• LSC H-Carrier ose kasetë (M4~M12)
• LSC V-Carrier ose kasetë (M4~M12)
• ASC Transportues ose kasetë (M4, M6)
• Transportues dhe kuti ruajtëse W/F (M4~M12)
• Seria e Rrotave të Transportit (Rulës).
▶Mbajtëse me qeliza diellore dhe mbajtëse metalike
• Transportues TRC ose kasetë (M4~M12)
• Revistë (me BELT)
BARKE GRAFIT (Tipi H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
BARKE GRAFIT (Tipi H)
21P6-240CT WF M4~M12)
BARKE GRAFIT (Tipi H)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
BARKE GRAFIT (Tipi H)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
BARKE GRAFIT (Tipi H)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF CARRIER DHE KUTI RUAJTJA (~M12)
TABAJA C/C ose MBASE (M4~M10)
TABAJA C/C ose MBASE (M4~M10)
BARKA VERTIKALE (SM) M6
LSC-H-CARRIER (~ M12)
LSC-V-CARRIER (~ M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER (~ M12)
TRC CARRIER (~ M12)
BARKE GRAFIT (M12)
Sistem mbajtës vaferi për procesin PECVD
▶ ANIKE GRAFIT (E dizenjuar me CT) Procesi M10/M12
• KONCEPT I DIZAJNIT SPECIALE
▶ ANIKE GRAFIT (E dizenjuar me CT) Procesi M4/M6
▶ Pjesë Aksesore BOAT
▶ BARKA VERTIKAL-161.7mm VAFER
▶ BARKA VERTIKALE-MESHTE 166mm
▶ BARKA VERTIKALE-161.7mm, 166mm meshë
Mbajtëse me qeliza diellore dhe mbajtëse metalike TRC
LLOJI: Automatizimi
MADHËSIA E VAFERËS: ① 156×156MM ② 156,75×156,75MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
PËRDORIMI: Transport (kasetë)
KAPACITETI: 100 fletë
KATARI: 4,76mm/5,953mm/6,35mm
DIMENSIONI: Përafërsisht 559×220×220 mm
Përafërsisht 712 × 260 × 260 mm
Avantazhi: Atmosferë
MATERIALI: FLAKA, BAR ANËSOR-Alumini (anodizues)
PLAKA ANËSORE-POM (Antistatike)
Mbulesa e shiritit të poshtëm-EPDM/PU/VITON (ASE)