Semiceraka kënaqësinë të ofrojëKasetë PFA, një zgjedhje premium për trajtimin e vaferës në mjedise ku rezistenca kimike dhe qëndrueshmëria janë parësore. E krijuar nga materiali perfluoroalkoksi (PFA) me pastërti të lartë, kjo kasetë është projektuar për t'i bërë ballë kushteve më të vështira në fabrikimin e gjysmëpërçuesve, duke garantuar sigurinë dhe integritetin e vaferave tuaja.
Rezistencë e pakrahasueshme kimikeTëKasetë PFAështë projektuar për të ofruar rezistencë superiore ndaj një game të gjerë kimikatesh, duke e bërë atë zgjedhjen perfekte për proceset që përfshijnë acide agresive, tretës dhe kimikate të tjera të ashpra. Kjo rezistencë e fortë kimike siguron që kaseta të mbetet e paprekur dhe funksionale edhe në mjediset më gërryese, duke zgjatur kështu jetëgjatësinë e saj dhe duke reduktuar nevojën për zëvendësime të shpeshta.
Ndërtim me pastërti të lartëSemicera-sëKasetë PFAështë prodhuar nga material PFA ultra i pastër, i cili është kritik në parandalimin e kontaminimit gjatë përpunimit të vaferës. Ky konstruksion me pastërti të lartë minimizon rrezikun e gjenerimit të grimcave dhe shpëlarjes kimike, duke siguruar që vaferat tuaja të mbrohen nga papastërtitë që mund të rrezikojnë cilësinë e tyre.
Qëndrueshmëri dhe performancë e shtuarProjektuar për qëndrueshmëri,Kasetë PFAruan integritetin e tij strukturor në temperatura ekstreme dhe kushte rigoroze të përpunimit. Pavarësisht nëse ekspozohet ndaj temperaturave të larta ose i nënshtrohet trajtimit të përsëritur, kjo kasetë ruan formën dhe performancën e saj, duke ofruar besueshmëri afatgjatë në mjedise prodhuese kërkuese.
Inxhinieri precize për trajtim të sigurtTëSemicera PFA Kasetëpërmban inxhinieri precize që siguron trajtim të sigurt dhe të qëndrueshëm të vaferës. Çdo vend i caktuar është projektuar me kujdes për të mbajtur vaferat të sigurta në vend, duke parandaluar çdo lëvizje ose zhvendosje që mund të rezultojë në dëmtim. Ky inxhinieri precize mbështet vendosjen e qëndrueshme dhe të saktë të vaferës, duke kontribuar në efikasitetin e përgjithshëm të procesit.
Aplikim i gjithanshëm përgjatë proceseveFalë vetive superiore të materialit,Kasetë PFAështë mjaft i gjithanshëm për t'u përdorur në faza të ndryshme të prodhimit të gjysmëpërçuesve. Ai është veçanërisht i përshtatshëm për gdhendjen e lagësht, depozitimin e avullit kimik (CVD) dhe procese të tjera që përfshijnë mjedise të ashpra kimike. Përshtatshmëria e tij e bën atë një mjet thelbësor në ruajtjen e integritetit të procesit dhe cilësisë së vaferës.
Angazhimi për cilësi dhe inovacionNë Semicera, ne jemi të përkushtuar të ofrojmë produkte që plotësojnë standardet më të larta të industrisë. TëKasetë PFAilustron këtë angazhim, duke ofruar një zgjidhje të besueshme që integrohet pa probleme në proceset tuaja të prodhimit. Çdo kasetë i nënshtrohet kontrollit të rreptë të cilësisë për të siguruar që ajo plotëson kriteret tona rigoroze të performancës, duke ofruar përsosmërinë që prisni nga Semicera.
Artikuj | Prodhimi | Hulumtimi | Bedel |
Parametrat e Kristalit | |||
Politip | 4H | ||
Gabim në orientimin e sipërfaqes | <11-20 >4±0,15° | ||
Parametrat Elektrikë | |||
Dopant | Azoti i tipit n | ||
Rezistenca | 0,015-0,025ohm·cm | ||
Parametrat mekanike | |||
Diametri | 150,0±0,2 mm | ||
Trashësia | 350±25 μm | ||
Orientimi primar i sheshtë | [1-100]±5° | ||
Gjatësia primare e sheshtë | 47,5±1,5 mm | ||
Banesa dytësore | Asnjë | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Përkuluni | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Deformoj | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Vrazhdësia e përparme (Fytyra Si) (AFM) | Ra≤0,2 nm (5μm*5μm) | ||
Struktura | |||
Dendësia e mikrotubit | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Papastërtitë metalike | ≤5E10 atome/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Cilësia e përparme | |||
Përpara | Si | ||
Përfundimi i sipërfaqes | CMP si-fytyre | ||
Grimcat | ≤60ea/vafer (madhësia≥0,3μm) | NA | |
Gërvishtjet | ≤5ea/mm. Gjatësia kumulative ≤Diametri | Gjatësia kumulative≤2*Diametri | NA |
Lëkurë portokalli/gropa/njolla/striacione/ çarje/ndotje | Asnjë | NA | |
Çipat e skajit / vrima / thyerje / pllaka gjashtëkëndore | Asnjë | ||
Zonat politip | Asnjë | Zona kumulative≤20% | Zona kumulative≤30% |
Shënimi i përparmë me lazer | Asnjë | ||
Cilësia e pasme | |||
Përfundimi i pasmë | CMP me fytyrë C | ||
Gërvishtjet | ≤5ea/mm,Gjatësia kumulative≤2*Diametri | NA | |
Defekte të pasme (patate të skuqura / dhëmbëzimet e skajeve) | Asnjë | ||
Vrazhdësia e shpinës | Ra≤0,2 nm (5μm*5μm) | ||
Shënimi me lazer prapa | 1 mm (nga buza e sipërme) | ||
Buzë | |||
Buzë | Chamfer | ||
Paketimi | |||
Paketimi | Epi-gati me paketim vakum Paketim kasetë me shumë vafera | ||
*Shënime: "NA" do të thotë asnjë kërkesë Artikujt që nuk përmenden mund t'i referohen SEMI-STD. |