RTPUnaza CVD SiCpërdoren gjerësisht në fushat industriale dhe shkencore në mjedise me temperaturë të lartë dhe gërryes. Ai luan një rol të rëndësishëm në prodhimin e gjysmëpërçuesve, optoelektronikën, makineritë precize dhe industrinë kimike. Aplikacionet specifike përfshijnë:
1. Prodhimi i gjysmëpërçuesve:RTP CVD SiC unazamund të përdoret për ngrohjen dhe ftohjen e pajisjeve gjysmëpërçuese, duke siguruar kontroll të qëndrueshëm të temperaturës dhe duke siguruar saktësinë dhe qëndrueshmërinë e procesit.
2. Optoelektronika: Për shkak të përçueshmërisë së shkëlqyer termike dhe rezistencës ndaj temperaturës së lartë, RTPUnaza CVD SiCmund të përdoret si materiale mbështetëse dhe për shpërndarjen e nxehtësisë për lazer, pajisje komunikimi me fibra optike dhe komponentë optikë.
3. Makineri precize: Unazat RTP CVD SiC mund të përdoren për instrumente dhe pajisje precize në mjedise me temperaturë të lartë dhe gërryese, si furrat me temperaturë të lartë, pajisjet vakum dhe reaktorët kimikë.
4. Industria kimike: Për shkak të rezistencës ndaj korrozionit dhe stabilitetit kimik, unazat RTP CVD SiC mund të përdoren në kontejnerë, tuba dhe reaktorë në reaksionet kimike dhe proceset katalitike.
Sistemi Epi
Sistemi RTP
Sistemi CVD
Performanca e produktit:
1. Njihuni me procesin nën 28nm
2. Super rezistencë ndaj korrozionit
3. Performancë super e pastër
4. Super fortësi
5. Dendësi e lartë
6. Rezistencë ndaj temperaturës së lartë
7. Rezistenca ndaj konsumit
Aplikimi i produktit:
Materialet e karbitit të silikonit kanë karakteristikat e fortësisë së lartë, rezistencës ndaj konsumit, rezistencës ndaj korrozionit dhe stabilitetit të temperaturës së lartë. Produktet me performancë të shkëlqyer gjithëpërfshirëse përdoren gjerësisht në proceset e gravurës së thatë dhe TF/Difuzionit.
Performanca e produktit:
1. Njihuni me procesin nën 28nm
2. Super rezistencë ndaj korrozionit
3. Performancë super e pastër
4. Super fortësi
5. Dendësi e lartë
6. Rezistencë ndaj temperaturës së lartë
7. Rezistenca ndaj konsumit
Zhvillimi i procesit të përbërë:
• Veshje grafit +SiC
• Ngurta CVD SiC
• SiC+CVD i sinterizuar
• SicSintered SiC
Zhvillimi i shumë llojeve të produktit:
• Unaza
• Tabela
• Susceptor
• Kokë dushi