SemiceraVeshje qeramike me karabit silikoniështë një shtresë mbrojtëse me performancë të lartë e bërë nga material karabit silikoni (SiC) jashtëzakonisht i fortë dhe rezistent ndaj konsumit. Veshja zakonisht depozitohet në sipërfaqen e nënshtresës me anë të procesit CVD ose PVD megrimcat e karbitit të silikonit, duke siguruar rezistencë të shkëlqyer ndaj korrozionit kimik dhe stabilitet të temperaturës së lartë. Prandaj, Veshja Qeramike e Silicon Carbide përdoret gjerësisht në komponentët kryesorë të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve.
Në prodhimin e gjysmëpërçuesve,Veshje SiCmund t'i rezistojë temperaturave jashtëzakonisht të larta deri në 1600°C, kështu që Veshja Qeramike me karabit silikoni përdoret shpesh si një shtresë mbrojtëse për pajisjet ose mjetet për të parandaluar dëmtimin në temperatura të larta ose mjedise gërryese.
Në të njëjtën kohë,Veshje qeramike me karabit silikonimund t'i rezistojë erozionit të acideve, alkaleve, oksideve dhe reagentëve të tjerë kimikë dhe ka rezistencë të lartë korrozioni ndaj një sërë substancash kimike. Prandaj, ky produkt është i përshtatshëm për mjedise të ndryshme korrozive në industrinë e gjysmëpërçuesve.
Për më tepër, krahasuar me materialet e tjera qeramike, SiC ka përçueshmëri më të lartë termike dhe mund të përçojë në mënyrë efektive nxehtësinë. Kjo veçori përcakton që në proceset gjysmëpërçuese që kërkojnë kontroll të saktë të temperaturës, përçueshmëria e lartë termike eVeshje qeramike me karabit silikonindihmon në shpërndarjen e barabartë të nxehtësisë, parandalimin e mbinxehjes lokale dhe sigurimin që pajisja të funksionojë në temperaturën optimale.
Vetitë themelore fizike të veshjes sic CVD | |
Prona | Vlera tipike |
Struktura Kristale | FCC-faza β polikristaline, kryesisht (111) e orientuar |
Dendësia | 3,21 g/cm³ |
Fortësia | Fortësia Vickers 2500 (ngarkesa 500 g) |
Madhësia e grurit | 2 ~ 10 μm |
Pastërtia Kimike | 99,99995% |
Kapaciteti i nxehtësisë | 640 J·kg-1· K-1 |
Temperatura e sublimimit | 2700 ℃ |
Forca përkulëse | 415 MPa RT 4-pikë |
Moduli i Young | Përkulje 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
Përçueshmëria termike | 300 W·m-1· K-1 |
Zgjerimi termik (CTE) | 4,5×10-6K-1 |