Unaza udhëzuese të grafitit të veshura me TaCreferojuni depozitimit të një shtrese të hollë tëkarabit tantalnë sipërfaqen e një unaze udhëzuese grafiti për të përmirësuar rezistencën ndaj konsumit, rezistencën ndaj temperaturës së lartë dhe stabilitetin kimik. Kjo veshje zakonisht formohet në sipërfaqen e një unaze udhëzuese grafiti me teknika të tilla si depozitimi fizik i avullit (PVD) ose depozitimi kimik i avullit (CVD).
Semicera ofron veshje të specializuara të karbitit të tantalit (TaC) për komponentë dhe transportues të ndryshëm.Procesi kryesor i veshjes Semicera mundëson veshjet e karbitit të tantalit (TaC) të arrijnë pastërti të lartë, stabilitet të temperaturës së lartë dhe tolerancë të lartë kimike, duke përmirësuar cilësinë e produktit të kristaleve SIC/GAN dhe shtresave EPI (Ndikues TaC i veshur me grafit), dhe zgjatjen e jetës së komponentëve kryesorë të reaktorit. Përdorimi i veshjes së karbitit të tantalit TaC është për të zgjidhur problemin e skajit dhe për të përmirësuar cilësinë e rritjes së kristalit, dhe Semicera ka zbuluar zbulimin e teknologjisë së veshjes së karbitit të tantalit (CVD), duke arritur nivelin e avancuar ndërkombëtar.
Pas vitesh zhvillimi, Semicera ka pushtuar teknologjinë eCVD TaCme përpjekjet e përbashkëta të departamentit të R&D. Defektet janë të lehta për t'u ndodhur në procesin e rritjes së vaferave SiC, por pas përdorimitTaC, dallimi është i rëndësishëm. Më poshtë është një krahasim i vaferave me dhe pa TaC, si dhe pjesëve Simicera për rritjen e kristalit.
Karakteristikat kryesore të unazave udhëzuese të grafitit të veshura me TaC përfshijnë:
1. Rezistencë ndaj temperaturës së lartë: Veshja TaC ka qëndrueshmëri të shkëlqyer të temperaturës së lartë dhe mund të ruajë stabilitetin në mjedise me temperaturë të lartë.
2. Rezistenca ndaj konsumit: Fortësia e lartë e shtresës së hollë të karbitit të tantalit i jep unazës udhëzuese rezistencë ndaj konsumit të mirë dhe zgjat jetën e saj të shërbimit.
3. Stabiliteti kimik: Veshja TaC ka qëndrueshmëri të lartë ndaj korrozionit kimik, duke e bërë atë të përshtatshme për aplikime në disa media korrozive.
4. Zvogëloni fërkimin: Veshja TaC mund të zvogëlojë në mënyrë efektive fërkimin midis unazës udhëzuese të grafitit dhe përbërësve të tjerë dhe të përmirësojë efikasitetin e vulave mekanike.
me dhe pa TaC
Pas përdorimit të TaC (djathtas)
Për më tepër, Semicera'sProdukte të veshura me TaCshfaqin një jetë më të gjatë shërbimi dhe rezistencë më të madhe ndaj temperaturës së lartë në krahasim meVeshje SiC.Matjet laboratorike kanë treguar se tonëVeshje TaCmund të funksionojë vazhdimisht në temperatura deri në 2300 gradë Celsius për periudha të gjata. Më poshtë janë disa shembuj të mostrave tona:
