Veshje TaCështë një shtresë e rëndësishme materiale, e cila zakonisht përgatitet mbi një bazë grafiti me teknologjinë e depozitimit të avullit kimik organik metalik (MOCVD). Kjo veshje ka veti të shkëlqyera, të tilla si fortësi e lartë, rezistencë e shkëlqyer ndaj konsumit, rezistencë ndaj temperaturës së lartë dhe stabilitet kimik, dhe është e përshtatshme për aplikime të ndryshme inxhinierike me kërkesa të larta.
Teknologjia MOCVD është një teknologji e zakonshme e rritjes së filmit të hollë që depoziton shtresën e dëshiruar të përbërjes në sipërfaqen e nënshtresës duke reaguar pararendësit organikë të metaleve me gaze reaktive në temperatura të larta. Gjatë përgatitjesVeshje TaC, duke zgjedhur prekursorët e duhur organikë të metaleve dhe burimet e karbonit, duke kontrolluar kushtet e reagimit dhe parametrat e depozitimit, një film uniform dhe i dendur TaC mund të depozitohet në një bazë grafiti.
Semicera ofron veshje të specializuara të karbitit të tantalit (TaC) për komponentë dhe transportues të ndryshëm.Procesi kryesor i veshjes Semicera mundëson veshjet e karbitit të tantalit (TaC) të arrijnë pastërti të lartë, stabilitet të temperaturës së lartë dhe tolerancë të lartë kimike, duke përmirësuar cilësinë e produktit të kristaleve SIC/GAN dhe shtresave EPI (Ndikues TaC i veshur me grafit), dhe zgjatjen e jetës së komponentëve kryesorë të reaktorit. Përdorimi i veshjes së karbitit të tantalit TaC është për të zgjidhur problemin e skajit dhe për të përmirësuar cilësinë e rritjes së kristalit, dhe Semicera ka zbuluar zbulimin e teknologjisë së veshjes së karbitit të tantalit (CVD), duke arritur nivelin e avancuar ndërkombëtar.
Pas vitesh zhvillimi, Semicera ka pushtuar teknologjinë eCVD TaCme përpjekjet e përbashkëta të departamentit të R&D. Defektet janë të lehta për t'u ndodhur në procesin e rritjes së vaferave SiC, por pas përdorimitTaC, dallimi është i rëndësishëm. Më poshtë është një krahasim i vaferave me dhe pa TaC, si dhe pjesëve Simicera për rritjen e kristalit.
me dhe pa TaC
Pas përdorimit të TaC (djathtas)
Për më tepër, Semicera'sProdukte të veshura me TaCshfaqin një jetë më të gjatë shërbimi dhe rezistencë më të madhe ndaj temperaturës së lartë në krahasim meVeshje SiC.Matjet laboratorike kanë treguar se tonëVeshje TaCmund të funksionojë vazhdimisht në temperatura deri në 2300 gradë Celsius për periudha të gjata. Më poshtë janë disa shembuj të mostrave tona:
