Semicera ofron veshje të specializuara të karbitit të tantalit (TaC) për komponentë dhe transportues të ndryshëm.Procesi kryesor i veshjes Semicera mundëson veshjet e karbitit të tantalit (TaC) të arrijnë pastërti të lartë, stabilitet të temperaturës së lartë dhe tolerancë të lartë kimike, duke përmirësuar cilësinë e produktit të kristaleve SIC/GAN dhe shtresave EPI (Ndikues TaC i veshur me grafit), dhe zgjatjen e jetës së komponentëve kryesorë të reaktorit. Përdorimi i veshjes së karbitit të tantalit TaC është për të zgjidhur problemin e skajit dhe për të përmirësuar cilësinë e rritjes së kristalit, dhe Semicera ka zbuluar zbulimin e teknologjisë së veshjes së karbitit të tantalit (CVD), duke arritur nivelin e avancuar ndërkombëtar.
Me ardhjen e vaferave të karbitit të silikonit (SiC) 8 inç, kërkesat për procese të ndryshme gjysmëpërçuese janë bërë gjithnjë e më të rrepta, veçanërisht për proceset e epitaksisë ku temperaturat mund të kalojnë 2000 gradë Celsius. Materialet tradicionale ndijuese, të tilla si grafiti i veshur me karbit silikoni, priren të sublimohen në këto temperatura të larta, duke ndërprerë procesin e epitaksisë. Megjithatë, karbidi i tantalit CVD (TaC) e trajton në mënyrë efektive këtë problem, duke përballuar temperaturat deri në 2300 gradë Celsius dhe duke ofruar një jetë më të gjatë shërbimi. Kontakto Semicera's Veshje me karbid tantal Half-Moonpër të eksploruar më shumë rreth zgjidhjeve tona të avancuara.
Pas vitesh zhvillimi, Semicera ka pushtuar teknologjinë eCVD TaCme përpjekjet e përbashkëta të departamentit të R&D. Defektet janë të lehta për t'u ndodhur në procesin e rritjes së vaferave SiC, por pas përdorimitTaC, dallimi është i rëndësishëm. Më poshtë është një krahasim i vaferave me dhe pa TaC, si dhe pjesëve Simicera për rritjen e kristalit.
me dhe pa TaC
Pas përdorimit të TaC (djathtas)
Për më tepër, Semicera'sProdukte të veshura me TaCshfaqin një jetë më të gjatë shërbimi dhe rezistencë më të madhe ndaj temperaturës së lartë në krahasim meVeshje SiC.Matjet laboratorike kanë treguar se tonëVeshje TaCmund të funksionojë vazhdimisht në temperatura deri në 2300 gradë Celsius për periudha të gjata. Më poshtë janë disa shembuj të mostrave tona:
Ndjekësi i veshur me TaC
Grafit me reaktor të veshur me TaC
