Fletë grafiti e veshur me karbit tantalështë një material grafit me një shtresë të hollë tëkarabit tantalnë sipërfaqen e nënshtresës. Shtresa e hollë e karbitit të tantalit zakonisht formohet në sipërfaqen e nënshtresës së grafitit me teknika të tilla si depozitimi fizik i avullit (PVD) ose depozitimi kimik i avullit (CVD). Kjo shtresë ka veti të shkëlqyera si fortësi e lartë, rezistencë e shkëlqyer ndaj konsumit, rezistencë ndaj korrozionit dhe qëndrueshmëri në temperaturë të lartë.
Semicera ofron veshje të specializuara të karbitit të tantalit (TaC) për komponentë dhe transportues të ndryshëm.Procesi kryesor i veshjes Semicera mundëson veshjet e karbitit të tantalit (TaC) të arrijnë pastërti të lartë, stabilitet të temperaturës së lartë dhe tolerancë të lartë kimike, duke përmirësuar cilësinë e produktit të kristaleve SIC/GAN dhe shtresave EPI (Ndikues TaC i veshur me grafit), dhe zgjatjen e jetës së komponentëve kryesorë të reaktorit. Përdorimi i veshjes së karbitit të tantalit TaC është për të zgjidhur problemin e skajit dhe për të përmirësuar cilësinë e rritjes së kristalit, dhe Semicera ka zbuluar zbulimin e teknologjisë së veshjes së karbitit të tantalit (CVD), duke arritur nivelin e avancuar ndërkombëtar.
Pas vitesh zhvillimi, Semicera ka pushtuar teknologjinë eCVD TaCme përpjekjet e përbashkëta të departamentit të R&D. Defektet janë të lehta për t'u ndodhur në procesin e rritjes së vaferave SiC, por pas përdorimitTaC, dallimi është i rëndësishëm. Më poshtë është një krahasim i vaferave me dhe pa TaC, si dhe pjesëve Simicera për rritjen e kristalit.
Përparësitë kryesore të fletës së grafitit të veshur me karbit tantal përfshijnë:
1. Rezistencë ndaj temperaturës së lartë: Karbidi i tantalit ka një pikë të lartë shkrirjeje dhe stabilitet të shkëlqyer të temperaturës së lartë, duke e bërë fletën e veshur të grafitit të përshtatshme për përdorim në mjedise me temperaturë të lartë.
2. Rezistenca ndaj korrozionit: Veshja e karbitit të tantalit mund t'i rezistojë erozionit të shumë substancave gërryese kimike dhe të zgjasë jetën e shërbimit të materialit.
3. Fortësi e lartë: Fortësia e lartë e shtresës së hollë të karbitit të tantalit siguron rezistencë të mirë ndaj konsumit dhe është i përshtatshëm për aplikime që kërkojnë rezistencë të lartë ndaj konsumit.
4. Stabiliteti kimik: Veshja e karbitit të tantalit ka stabilitet të shkëlqyeshëm ndaj korrozionit kimik dhe është i përshtatshëm për t'u përdorur në disa media korrozive.
me dhe pa TaC
Pas përdorimit të TaC (djathtas)
Për më tepër, Semicera'sProdukte të veshura me TaCshfaqin një jetë më të gjatë shërbimi dhe rezistencë më të madhe ndaj temperaturës së lartë në krahasim meVeshje SiC.Matjet laboratorike kanë treguar se tonëVeshje TaCmund të funksionojë vazhdimisht në temperatura deri në 2300 gradë Celsius për periudha të gjata. Më poshtë janë disa shembuj të mostrave tona:
