Pllakë mbështetëse e suceptorit të veshur me karbit tantalështë një suceptor ose strukturë mbështetëse që është e mbuluar me një shtresë të hollë tëkarabit tantal. Kjo shtresë mund të formohet në sipërfaqen e sensorit me teknika të tilla si depozitimi fizik i avullit (PVD) ose depozitimi kimik i avullit (CVD), duke i dhënë suceptorit vetitë superiore tëkarabit tantal.
Semicera ofron veshje të specializuara të karbitit të tantalit (TaC) për komponentë dhe transportues të ndryshëm.Procesi kryesor i veshjes Semicera mundëson veshjet e karbitit të tantalit (TaC) të arrijnë pastërti të lartë, stabilitet të temperaturës së lartë dhe tolerancë të lartë kimike, duke përmirësuar cilësinë e produktit të kristaleve SIC/GAN dhe shtresave EPI (Ndikues TaC i veshur me grafit), dhe zgjatjen e jetës së komponentëve kryesorë të reaktorit. Përdorimi i veshjes së karbitit të tantalit TaC është për të zgjidhur problemin e skajit dhe për të përmirësuar cilësinë e rritjes së kristalit, dhe Semicera ka zbuluar zbulimin e teknologjisë së veshjes së karbitit të tantalit (CVD), duke arritur nivelin e avancuar ndërkombëtar.
Pas vitesh zhvillimi, Semicera ka pushtuar teknologjinë eCVD TaCme përpjekjet e përbashkëta të departamentit të R&D. Defektet janë të lehta për t'u ndodhur në procesin e rritjes së vaferave SiC, por pas përdorimitTaC, dallimi është i rëndësishëm. Më poshtë është një krahasim i vaferave me dhe pa TaC, si dhe pjesëve Simicera për rritjen e kristalit.
Karakteristikat kryesore të pllakave mbështetëse të veshura me karbit tantal përfshijnë:
1. Stabiliteti i temperaturës së lartë: Karbidi i tantalit ka stabilitet të shkëlqyeshëm të temperaturës së lartë, duke e bërë pllakën mbështetëse të veshur me bazë të përshtatshme për nevojat e mbështetjes në mjedise pune me temperaturë të lartë.
2. Rezistenca ndaj korrozionit: Veshja e karbitit të tantalit ka rezistencë të mirë ndaj korrozionit, mund t'i rezistojë korrozionit dhe oksidimit kimik dhe zgjat jetën e shërbimit të bazës.
3. Fortësi e lartë dhe rezistencë ndaj konsumit: Fortësia e lartë e veshjes së karbitit të tantalit i jep pllakës mbështetëse bazë rezistencë ndaj konsumit të mirë, e cila është e përshtatshme për raste që kërkojnë rezistencë të lartë ndaj konsumit.
4. Stabiliteti kimik: Karbidi i tantalit ka qëndrueshmëri të lartë ndaj një sërë substancash kimike, duke bërë që pllaka mbështetëse e veshur me bazë të funksionojë mirë në disa mjedise gërryese.
me dhe pa TaC
Pas përdorimit të TaC (djathtas)
Për më tepër, Semicera'sProdukte të veshura me TaCshfaqin një jetë më të gjatë shërbimi dhe rezistencë më të madhe ndaj temperaturës së lartë në krahasim meVeshje SiC.Matjet laboratorike kanë treguar se tonëVeshje TaCmund të funksionojë vazhdimisht në temperatura deri në 2300 gradë Celsius për periudha të gjata. Më poshtë janë disa shembuj të mostrave tona:
