Materiali i fushës termike për rritjen e kristaleve të karbitit të silikonit - karabit poroz i tantalit

Përshkrimi i shkurtër:

Karbidi poroz i tantalit përdoret kryesisht për filtrimin e komponentëve të fazës së gazit, rregullimin e gradientit të temperaturës lokale, drejtimin e rrjedhës së materialit, kontrollimin e rrjedhjeve, etj. Mund të përdoret me një shtresë tjetër karbiti të ngurtë të tantalit (kompakt) ose karabit tantal nga Semicera Technology për të formuar komponentë lokalë me përcjellshmëri të ndryshme të rrjedhës.

 

 


Detajet e produktit

Etiketat e produktit

Semicera ofron veshje të specializuara të karbitit të tantalit (TaC) për komponentë dhe transportues të ndryshëm.Procesi kryesor i veshjes Semicera mundëson veshjet e karbitit të tantalit (TaC) të arrijnë pastërti të lartë, stabilitet të temperaturës së lartë dhe tolerancë të lartë kimike, duke përmirësuar cilësinë e produktit të kristaleve SIC/GAN dhe shtresave EPI (Ndikues TaC i veshur me grafit), dhe zgjatjen e jetës së komponentëve kryesorë të reaktorit. Përdorimi i veshjes së karbitit të tantalit TaC është për të zgjidhur problemin e skajit dhe për të përmirësuar cilësinë e rritjes së kristalit, dhe Semicera ka zbuluar zbulimin e teknologjisë së veshjes së karbitit të tantalit (CVD), duke arritur nivelin e avancuar ndërkombëtar.

 

Pas vitesh zhvillimi, Semicera ka pushtuar teknologjinë eCVD TaCme përpjekjet e përbashkëta të departamentit të R&D. Defektet janë të lehta për t'u ndodhur në procesin e rritjes së vaferave SiC, por pas përdorimitTaC, dallimi është i rëndësishëm. Më poshtë është një krahasim i vaferave me dhe pa TaC, si dhe pjesëve Semicera për rritjen e një kristali

微信图片_20240227150045

me dhe pa TaC

微信图片_20240227150053

Pas përdorimit të TaC (djathtas)

Përveç kësaj, jeta e shërbimit të produkteve të veshjes TaC të Semicera është më e gjatë dhe më rezistente ndaj temperaturave të larta se ajo e veshjes SiC. Pas një kohe të gjatë të të dhënave të matjeve laboratorike, TaC-ja jonë mund të funksionojë për një kohë të gjatë në një maksimum prej 2300 gradë Celsius. Më poshtë janë disa nga mostrat tona:

微信截图_20240227145010

(a) Diagrami skematik i pajisjes së rritjes së shufrës me një kristal SiC me metodën PVT (b) Kllapa e farës së veshur me TaC (përfshirë farën SiC) (c) unazë udhëzuese e grafit e veshur me TAC

ZDFVzCFV
Karakteristika kryesore
Vendi i punës Semicera
Vendi i punës gjysmëcere 2
Makinë pajisje
Përpunim CNN, pastrim kimik, veshje CVD
Shërbimi ynë

  • E mëparshme:
  • Tjetër: