Semicera-sëKasetë vafereështë një komponent kritik në procesin e prodhimit të gjysmëpërçuesve, i projektuar për të mbajtur dhe transportuar në mënyrë të sigurt vaferat delikate gjysmëpërçuese. TëKasetë vaferesiguron mbrojtje të jashtëzakonshme, duke siguruar që çdo vafer të mbahet pa ndotës dhe dëmtime fizike gjatë trajtimit, ruajtjes dhe transportit.
E ndërtuar me materiale me pastërti të lartë, rezistente ndaj kimikateve, SemiceraKasetë vaferegaranton nivelet më të larta të pastërtisë dhe qëndrueshmërisë, thelbësore për ruajtjen e integritetit të vaferës në çdo fazë të prodhimit. Inxhinieria e saktë e këtyre kasetave lejon integrimin pa probleme me sistemet e automatizuara të trajtimit, duke minimizuar rrezikun e ndotjes dhe dëmtimit mekanik.
Dizajni iKasetë vaferegjithashtu mbështet qarkullimin optimal të ajrit dhe kontrollin e temperaturës, gjë që është thelbësore për proceset që kërkojnë kushte specifike mjedisore. Nëse përdoret në dhoma të pastra ose gjatë përpunimit termik, SemiceraKasetë vafereështë projektuar për të përmbushur kërkesat e rrepta të industrisë së gjysmëpërçuesve, duke ofruar performancë të besueshme dhe të qëndrueshme për të rritur efikasitetin e prodhimit dhe cilësinë e produktit.
| Artikuj | Prodhimi | Hulumtimi | Bedel |
| Parametrat e Kristalit | |||
| Politip | 4H | ||
| Gabim në orientimin e sipërfaqes | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametrat Elektrikë | |||
| Dopant | Azoti i tipit n | ||
| Rezistenca | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Parametrat mekanike | |||
| Diametri | 150,0±0,2 mm | ||
| Trashësia | 350±25 μm | ||
| Orientimi primar i sheshtë | [1-100]±5° | ||
| Gjatësia primare e sheshtë | 47,5±1,5 mm | ||
| Banesa dytësore | Asnjë | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Përkuluni | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Deformoj | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Vrazhdësia e përparme (Fytyra Si) (AFM) | Ra≤0,2 nm (5μm*5μm) | ||
| Struktura | |||
| Dendësia e mikrotubit | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Papastërtitë metalike | ≤5E10 atome/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Cilësia e përparme | |||
| Përpara | Si | ||
| Përfundimi i sipërfaqes | CMP si-fytyre | ||
| Grimcat | ≤60ea/vafer (madhësia≥0,3μm) | NA | |
| Gërvishtjet | ≤5ea/mm. Gjatësia kumulative ≤Diametri | Gjatësia kumulative≤2*Diametri | NA |
| Lëkurë portokalli/gropa/njolla/striacione/ çarje/ndotje | Asnjë | NA | |
| Çipat e skajit / vrima / thyerje / pllaka gjashtëkëndore | Asnjë | ||
| Zonat politip | Asnjë | Zona kumulative≤20% | Zona kumulative≤30% |
| Shënimi i përparmë me lazer | Asnjë | ||
| Cilësia e pasme | |||
| Përfundimi i pasmë | CMP me fytyrë C | ||
| Gërvishtjet | ≤5ea/mm,Gjatësia kumulative≤2*Diametri | NA | |
| Defekte të pasme (patate të skuqura / dhëmbëzimet e skajeve) | Asnjë | ||
| Vrazhdësia e shpinës | Ra≤0,2 nm (5μm*5μm) | ||
| Shënimi me lazer prapa | 1 mm (nga buza e sipërme) | ||
| Buzë | |||
| Buzë | Chamfer | ||
| Paketimi | |||
| Paketimi | Epi-gati me paketim vakum Paketim kasetë me shumë vafera | ||
| *Shënime: "NA" do të thotë asnjë kërkesë Artikujt që nuk përmenden mund t'i referohen SEMI-STD. | |||
