Materiali me një kristal karabit të silikonit (SiC) ka një gjerësi të madhe të hendekut të brezit (~Si 3 herë), përçueshmëri të lartë termike (~Si 3.3 herë ose GaAs 10 herë), shkallë të lartë të migrimit të ngopjes së elektroneve (~Si 2.5 herë), elektricitet të lartë prishjeje fushë (~Si 10 herë ose GaAs 5 herë) dhe karakteristika të tjera të jashtëzakonshme.
Pajisjet SiC kanë avantazhe të pazëvendësueshme në fushën e temperaturës së lartë, presionit të lartë, frekuencës së lartë, pajisjeve elektronike me fuqi të lartë dhe aplikimeve ekstreme mjedisore si hapësira ajrore, ushtarake, energjia bërthamore, etj., duke plotësuar në praktikë defektet e pajisjeve tradicionale të materialeve gjysmëpërçuese. aplikacionet dhe gradualisht po bëhen rryma kryesore e gjysmëpërçuesve të energjisë.
4H-SiC Specifikimi i substratit të karbitit të silikonit
Artikulli项目 | Specifikimet 参数 | |
Politip | 4H -SiC | 6H- SiC |
Diametri | 2 inç | 3 inç | 4 inç | 6 inç | 2 inç | 3 inç | 4 inç | 6 inç |
Trashësia | 330 μm ~ 350 μm | 330 μm ~ 350 μm |
Përçueshmëria | N – tipi / gjysmëizolues | N – tipi / gjysmëizolues |
Dopant | N2 (Azot)V (Vanadium) | N2 (Azot) V (Vanadium) |
Orientimi | Në aksin <0001> | Në aksin <0001> |
Rezistenca | 0,015 ~ 0,03 ohm-cm | 0,02 ~ 0,1 ohm-cm |
Dendësia e mikrotubit (MPD) | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 |
TTV | ≤ 15 μm | ≤ 15 μm |
Hark / Dekor | ≤25 μm | ≤25 μm |
Sipërfaqja | DSP/SSP | DSP/SSP |
notë | Nota e prodhimit / kërkimit | Nota e prodhimit / kërkimit |
Sekuenca e grumbullimit të kristaleve | ABCB | ABCABC |
Parametri i rrjetës | a=3.076A, c=10.053A | a=3.073A, c=15.117A |
P.sh./eV (Band-gap) | 3,27 eV | 3.02 eV |
ε (Konstante dielektrike) | 9.6 | 9.66 |
Indeksi i Përthyerjes | n0 =2.719 ne =2.777 | n0 =2,707 , ne = 2,755 |
Specifikimet e substratit të karabit të silikonit 6H-SiC
Artikulli项目 | Specifikimet 参数 |
Politip | 6H-SiC |
Diametri | 4 inç | 6 inç |
Trashësia | 350μm ~ 450μm |
Përçueshmëria | N – tipi / gjysmëizolues |
Dopant | N2 (Azot) |
Orientimi | <0001> ulje 4°± 0,5° |
Rezistenca | 0,02 ~ 0,1 ohm-cm |
Dendësia e mikrotubit (MPD) | ≤ 10/cm2 |
TTV | ≤ 15 μm |
Hark / Dekor | ≤25 μm |
Sipërfaqja | Si Fytyra: CMP, Epi-Ready |
notë | Nota e kërkimit |