SOI Wafers

Përshkrim i shkurtër:

Vaferi SOI është një strukturë e ngjashme me sanduiçin me tre shtresa;Përfshirë shtresën e sipërme (shtresën e pajisjes), mesin e shtresës së oksigjenit të groposur (për shtresën izoluese të SiO2) dhe nënshtresën e poshtme (silic me shumicë).Vaferat SOI prodhohen duke përdorur metodën SIMOX dhe teknologjinë e lidhjes së vaferës, e cila lejon shtresa më të holla dhe më të sakta të pajisjes, trashësi uniforme dhe densitet të ulët defekti.


Detajet e produktit

Etiketat e produktit

Vafera SOI (1)

Fusha e aplikimit

1. Qarku i integruar me shpejtësi të lartë

2. Pajisjet me mikrovalë

3. Qarku i integruar me temperaturë të lartë

4. Pajisjet e fuqisë

5. Qarku i integruar me fuqi të ulët

6. MEMS

7. Qarku i integruar i tensionit të ulët

Artikulli

Argumenti

Në përgjithësi

Diametri i vaferës
晶圆尺寸(mm)

50/75/100/125/150/200mm±25um

Hark/Deformim
翘曲度(

<10 um

Grimcat
颗粒度(

0.3um<30ea

Banesa/Notch
定位边/定位槽

Flat ose Notch

Përjashtimi i skajit
边缘去除 (mm)

/

Shtresa e pajisjes
器件层

Lloji i shtresës së pajisjes/Dopant
器件层掺杂类型

N-Tipi/Tipi P
B/ P/ Sb / As

Orientimi i shtresës së pajisjes
器件层晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Trashësia e shtresës së pajisjes
器件层厚度(um)

0,1 ~ 300 um

Rezistenca e shtresës së pajisjes
器件层电阻率(ohm•cm)

0,001~100,000 ohm-cm

Grimcat e shtresës së pajisjes
器件层颗粒度(

<30ea@0.3

Shtresa e pajisjes TTV
器件层TTV(

<10 um

Përfundimi i shtresës së pajisjes
器件层表面处理

E lëmuar

KUTI

Trashësia e oksidit termik të varrosur
埋氧层厚度(um)

50 nm (500Å) ~ 15um

Shtresa e Dorezës
衬底

Lloji i meshës së trajtuar/dopant
衬底层类型

N-Tipi/Tipi P
B/ P/ Sb / As

Orientimi i meshës së trajtuar
衬底晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Trajtoni rezistencën e vaferit
衬底电阻率(ohm•cm)

0,001~100,000 ohm-cm

Trashësia e meshës së dorezës
衬底厚度(um)

> 100 um

Finish me vafer
衬底表面处理

E lëmuar

Vaferat SOI të specifikimeve të synuara mund të personalizohen sipas kërkesave të klientit.

Vendi i punës Semicera Vendi i punës gjysmëcere 2

Makinë pajisjePërpunim CNN, pastrim kimik, veshje CVD

Shërbimi ynë


  • E mëparshme:
  • Tjetër: